专利名称：一种便携式中红外高灵敏度多组分气体测量分析系统及其工作方法
所属单位：新一代半导体材料研究院
专利类型：发明
申请号：202010324577.3
发明人数：4
是否职务专利：否
申请日期：2020-04-23
公开日期：2021-04-16
授权日期：2021-04-16
发布时间：2021-10-22
专利名称：一种便携式中红外高灵敏度多组分气体测量分析系统及其工作方法
所属单位：新一代半导体材料研究院
专利类型：发明
申请号：202010324577.3
发明人数：4
是否职务专利：否
申请日期：2020-04-23
公开日期：2021-04-16
授权日期：2021-04-16
发布时间：2021-10-22