一种径向羽流多组分气体测量遥感系统

发布时间:2021-10-22| 点击次数:

专利名称:一种径向羽流多组分气体测量遥感系统

所属单位:新一代半导体材料研究院

专利类型:发明

申请号:201911380938.X

发明人数:4

是否职务专利:否

申请日期:2019-12-27

公开日期:2021-09-17

授权日期:2021-09-17

发布时间:2021-10-22