专利名称:一种径向羽流多组分气体测量遥感系统
所属单位:新一代半导体材料研究院
专利类型:发明
申请号:201911380938.X
发明人数:4
是否职务专利:否
申请日期:2019-12-27
公开日期:2021-09-17
授权日期:2021-09-17
发布时间:2021-10-22
专利名称:一种径向羽流多组分气体测量遥感系统
所属单位:新一代半导体材料研究院
专利类型:发明
申请号:201911380938.X
发明人数:4
是否职务专利:否
申请日期:2019-12-27
公开日期:2021-09-17
授权日期:2021-09-17
发布时间:2021-10-22