专利名称：一种温室气体的相干测量装置
所属单位：新一代半导体材料研究院
专利类型：发明
申请号：202111421377.0
发明人数：3
是否职务专利：否
申请日期：2021-11-26
公开日期：2023-12-26
授权日期：2023-12-26
发布时间：2025-09-18
专利名称：一种温室气体的相干测量装置
所属单位：新一代半导体材料研究院
专利类型：发明
申请号：202111421377.0
发明人数：3
是否职务专利：否
申请日期：2021-11-26
公开日期：2023-12-26
授权日期：2023-12-26
发布时间：2025-09-18