Y-制造用高功率大能量紫外超快激光器

发布时间:2024-04-16| 点击次数:

项目名称:Y-制造用高功率大能量紫外超快激光器

所属单位:新一代半导体材料研究院

负责人姓名:张百涛

项目来源单位:2022年晶体国重基本业务费

项目性质:纵向

项目级别:学校级

项目编号:E31FB01A54772FA4E053BE07C2CA7AD6

项目批准号:42580091012205

立项时间:2022-06-28

计划完成时间:2023-12-31

结项日期:2023-12-31

开始日期:2022-05-20

发布时间:2024-04-16