王勇
教授
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A comparative study on the hardness, stress and surface free energy of HfN films grown by HIPIMS and direct-current magnetron sputtering
发布时间：2025-10-20
  • 论文名称：
    A comparative study on the hardness, stress and surface free energy of HfN films grown by HIPIMS and direct-current magnetron sputtering
  • 发表刊物：
    Surface & Coatings Technology, 477,130405,2024
  • 是否译文：
    否
  • 发布时间：
    2025-10-20
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