集成电路溅射靶材关键制备技术研发

发布时间:2024-04-30| 点击次数:

项目名称:集成电路溅射靶材关键制备技术研发

所属单位:材料科学与工程学院

负责人姓名:王伟民

项目性质:纵向

项目编号:16C043EE18D63112E063BE07C2CAFDDE

项目批准号:2023CXGC010308-1

立项时间:2023-10-07

计划完成时间:2026-06-30

结项日期:2026-06-30

开始日期:2023-07-01

发布时间:2024-04-30